Вакуумная напылительная установка – 2spi coater, 2SPI

Установка для нанесения покрытий металлических и углеродных покрытий. Приемущественно используется при пробоподготовке образцов для электронной микроскопии. Позволяет наносить тонкие пленки (нанометровой толщины) углерода или металлов, с целью создания токопроводящих покрытий. Также установка оснащена системой плазменной очистки и модификации поверхности образцов.

Холодное напыление металлов — с магнитоупрочненным катодом

Быстрое покрытие (до 200 Å золота за 20 секунд)

Отсутствие теплового повреждения чувствительных образцов

Цилиндрическая камера: высота 5″ (12,7 см) x внешний диаметр 4″ (10,2 см)

Перемещаемый предметный столик для регулировки расстояния от катода до образца

Возможность напуска газа: Ar

Быстросменный катодный узел

Доступные методики напылений:

• из углеродного волокна
• из углеродного стержня
• из металлической фольги