Сканирующая зондовая микроскопия – Ntegra, NT-MDT SI

Сканирующий зондовый микроскоп, реализующий все основные методики атомно-силовой (АСМ) и сканирующей туннельной микроскопии (СТМ), для решения широкого спектра задач в области исследования поверхности, электрических, механических, пьезоэлектрических, адгезионных и многих других свойств наноразмерных материалов и структур. Исследования могут проводиться на воздухе и в вакууме. Зондовая нанолаборатория Ntegra оснащена контроллером последнего поколения, поддерживающим метод прыжковой АСМ, основанный на быстром измерении силовых кривых и обработке сигнала в реальном времени, что позволяет проводить неразрушающие исследования мягких, хрупких и плохо зафиксированных объектов.

Тип сканирования: сканирование образцом, сканирование зондом.

Допустимый размер и вес образца: до 100 мм в диаметре, до 15 мм в высоту, до 300 г

Поле сканирования: 100x100x10 мкм

Ошибка измерения линейных размеров: ±1,2%

Уровень шума, Z: 0.04-0.06 нм

Температурные измерения: от -20 до 150 °С.

Доступные методики измерений:

Контактная АСМ:

• Метод постоянной высоты
• Метод постоянной силы
• Метод латеральных сил
• Отображение сопротивления растекания
• Силовая микроскопия пьезоотклика

Амплитудно-модуляционный АСМ:

• «Полуконтактный» метод
• Метод отображения фазы
• Бесконтактный метод
• Электростатическая силовая микроскопия
• Сканирующая емкостная силовая микроскопия (отображение dC/dZ и dC/dV)
• Одно- и двухпроходная Кельвин-зондовая силовая микроскопия с фазовой и амплитудной модуляцией

Магнитно-силовая АСМ (в настоящий момент не доступна)

Прыжковая силовая микроскопия HybriD Mode:

• Рельеф поверхности в режимах притяжения и отталкивания
• Модуль Юнга от 10⁴ до 10¹¹ Па
• Адгезию и работу адгезии
• Проводимость
• Латеральный и вертикальный пьезоотклик
• Электростатические свойства: потенциал поверхности, работу выхода, диэлектрическую проницаемость и т.д.

Наноиндентирование алмазным зондом (типа Берковича):

• Твердость
• Упругость
• Коэффициент упругого восстановления
• Предельная нагрузка

АСМ спектроскопия:

• Силовая спектроскопия
• Отображение адгезионных сил
• Амплитудная спектроскопия
• Фазовая спектроскопия
• Частотная спектроскопия
• Токовая спектроскопия: I(V)
• Пьезоимпульсная спектроскопия

СТМ методики:

• Метод постоянного тока
• Метод постоянной высоты
• Отображение работы выхода
• Отображение плотности состояний
• I(z) спектроскопия
• I(V) спектроскопия

Нанолитография:

• Токовая (векторная и растровая)
• Силовая (векторная и растровая)

Оборудование используется при выполнении проектов:

• Молекулярно-лучевая эпитакция A3B5
• Фокусрованный ионный пучок
• Углеродные нанотрубки