Химический участок

Магнитная мешалка с подогревом:

• Максимальная температура нагрева — 280 °С
• Максимальная скорость вращения — 1500 об/мин

Ультразвуковая ванна:

• Объём — 1,3 литра
• Потребляемая мощность — 200 Вт
• Рабочая емкость (длина x ширина x глубина) — 155x140x100 мм
• Рабочая частота — 35 кГц
• Амплитудная модуляция — до 90%

Центрифуга:

• Количество — 2 (для сушки образов; для нанесения фоторезиста)
• Модель — Laurell Technolgies WS-400B-6NPP/LITE
• Максимальная скорость вращения — 3000 об/мин

HotPlate SAWATEC HP-401-250 (плита для нагрева):

• Температура нагрева столика — 25 — 250 °С
• Пневмотический подъем крышки и штифтов для удержания подложки
• Толщина подложек — до 20 мм
• Размер подложек — 1х300 или 5х100 мм

HotPlate SAWATEC HP-160 (плита для нагрева):

• Температура нагрева столика — 25 — 250 °С
• Пневмотический подъем крышки и штифтов для удержания подложки
• Толщина подложек — до 20 мм
• Размер подложек — до 150 мм