Материалы: Ga, Al, In, As, Be (лигатура), Si (лигатура)
Количество портов молекулярных испарителей: 10
Аналитическое оборудование:
Предельный остаточный вакуум: < 5·10-8 Па
Подложки: 1х4″ или 3х2″
Максимальная рабочая температура нагревателя подложки: до 1200 °С