Зондовая станция – ЭМ6070А, Планар КБТЭМ

Аналитическая субмикронная установка зондового контроля ЭМ-6070А предназначена для измерений характеристик электронных устройств. Возможны измерения вольт-амперных, вольт-фарадных и высокочастотных исследований путем точечного подвода зондов для снятия электрических сигналов к отдельным элементам структуры.

Размер образцов: до 150 мм

Минимальный размер контактируемого элемента: 500 нм

Крепление микроманипулятора к платформе: постоянный магнит

Перемещение столика с образцом:

• по координате X, Y: не менее 200 мм
• по координате F: ±10 град

Увеличение микроскопа: 20x÷2000x

Масса: 140 кг