Стилусный профилометр – Alpha-Step D-100, KLA-Tencor

Контактный стилусный профилометр для определения высоты ступенек и шероховатости поверхности образца. Подходит для для исследования поверхности образца в диапазоне перепадов высот от 20 нм до 400 мкм. Встроенный модуль Thin Film Stress позволяет проводить измерения напряжений в тонких пленках за счет определения искривления подложки.

Диапазон измеряемых высот: от 20 нм до 400 мкм

Размер образцов: диаметр не более 140 мм

Толщина образцов: не более 20 мм

Длина сканирования (ход стилуса): не более 30 мм

Количество точек в профиле: не более 120000

Диапазон прижимного усилия: 0,03 – 10 мг

Скорость сканирования: 0,01 – 0,4 мм/с

Программное выравнивание профилей: по графику с помощью курсоров, автоматическое для многократного сканирования

Тип позиционирования: ручное с помощью встроенной камеры

Доступные методики измерений:

• Измерение высоты ступенек
• Измерение шероховатости поверхности
• Исследование напряжений в пленках