Новости

26.03.2023

Семинар «Плазмохимическое травление танталата лития для формирования элементов топологии и микросборки»

28 марта в 14:00 в ТК ИТА ЮФУ состоится Семинар «Плазмохимическое травление танталата лития для формирования элементов топологии и микросборки». На семинаре будут представлены результаты исследований влияния температуры, мощности, давления и газовых добавок на скорость плазмохимического травления танталата лития в плазме SF6 и режимов микросборки на подложках из LiTaO3. Докладчик: Коняев Иван Васильевич, ведущий инженер АО «НИИЭТ». Приглашаются все желающие. Запись на мероприятие доступна на Leader-ID: https://leader-id.ru/events/413772