Литографическая приставка позволяет управлять электронным или ионным пучком растрового микроскопа для экспонирования резиста по виртуальному шаблону (GDSII). Подключена к Nova Nanolab 600. Управление пучком микроскопа перехватывается с помощью электростатического бланкера (TTL).
Управляющие сигналы :
Управление электростатическим бланкером (200 В)
Включение внешнего управления сканированя пучками РЭМ/ФИП (TTL)
Временное разрешение по скорости экспонирования: 2 нс
Отклоняющая система: 6 МГЦ, 2х канальный ЦАП (16 бит) по X и Y
Оборудование используется при выполнении проектов:
Лаборатория ТФН занимается исследованиями в области синтеза наноматериалов, создания прототипов устройств и элементов микро- и нананоэлектроники, разработки новых материалов.
