Растровая электронная микроскопия – Nova Nanolab 600, FEI

Установка Nova NanoLab 600 предназначена для исследования поверхности методами растровой электронной микроскопии, а также модификации образов фокусированным ионным пучком.

Электронная оптика:

• Катод высокого разрешения с полевой эмиссией
• Разрешающая способность: 1,1 нм при 15 кВ, 1 нм при использовании детектора STEM
• Ускоряющие напряжения: 200 – 30000 В
• Максимальное поле зрения: 3 мм
• Максимальный ток пучка: 20 нА

Вакуумная система:

• Турбомолекулярный безмасляный насос
• Ионно-гетерогенные насосы: 3
• Вакуумная камера: до 2,6 *10^-6 мБар
• Время откачки до получения растрового изображения: 5 мин

Дополнительные опции:

• Энергодисперсионный анализатор: Genesis 600i (EDAX)
• Система электронно-лучевой литографии: Elphy Plus 6 MHZ (Raith)
• Микроманипулятор: Omniprobe (Oxford Instruments)
• Газовые инжекционные системы: FIB GIS (FEI)

Доступные методики измерений:

• Электронная и ионная микроскопия
• Ионно-лучевое травление
• Электронно-лучевая литография
• Ионно-стимулированное осаждение материалов из газовой фазы
• Прототипирование микро- и наноструктур
• Исследование элементного состава поверхности
• Формирование образцов для просвечивающей электронной микроскопии

 

Оборудование используется при выполнении проектов:

• Молекулярно-лучевая эпитакция A3B5
• Фокусрованный ионный пучок
• Углеродные нанотрубки

 

Наши результаты: