Растровая электронная микроскопия – Nova Nanolab 600, FEI
Установка Nova NanoLab 600 предназначена для исследования поверхности методами растровой электронной микроскопии, а также модификации образов фокусированным ионным пучком.
Электронная оптика:
Катод высокого разрешения с полевой эмиссией
Разрешающая способность: 1,1 нм при 15 кВ, 1 нм при использовании детектора STEM
Ускоряющие напряжения: 200 – 30000 В
Максимальное поле зрения: 3 мм
Максимальный ток пучка: 20 нА
Вакуумная система:
Турбомолекулярный безмасляный насос
Ионно-гетерогенные насосы: 3
Вакуумная камера: до 2,6 *10-6 мБар
Время откачки до получения растрового изображения: 5 мин
Лаборатория ТФН занимается исследованиями в области синтеза наноматериалов, создания прототипов устройств и элементов микро- и нананоэлектроники, разработки новых материалов.