Энергодисперсионный анализ – EDAX, Ametek

Система энергодисперсионного анализа, предназначена для детектирования рентгеновского излучения в процессе электронного сканирования для качественного и количественного анализа химических элементов в образцах. Электрнный микроскоп Nova Nanolab 600 оснащен системой энергодисперсионного анализа EDAX для определения элементного состава образцов от Be. Рентгеновский детектор изготовлен из кремния, легированный литием, в котором падающее рентгеновское излучение создает электрический заряд необходимый для определения энергии и количества падающих ренгеновских квантов. Для снижения электронного шума, детектор охлаждается жидким азотом до температуры 90К.

Разрешающая способность в точке: 1 мкм³.

Время набора элементной карты: от 1 сек до 60 мин.

Максимальная площадь анализа: 2×2 мм.

Детектируемые элементы: от Be⁴ до U⁹².

Погрешность количественного анализа 2,5% для тяжелых элементов и до 10% для легких элементов.

Охлаждение детектора: жидкий азот (LN₂).

Доступные методики измерений:

• Элементный анализ – качественный и количественный
• Количественный анализ — в весовых и атомарных процентах